根據ISO 14644-1標準，無塵室或潔淨室的定義為：
- 氣懸微粒濃度受到控制的房間；
- 建造與使用力求避免微粒引入、產生與滯留；
- 溫度、溼度與壓力等相關環境參數視需求予以控制。
使用庫板組建廠房，可應用紊流通風式、單向氣流式、層流式等潔淨空間建構方式，針對生產電腦、螢幕的電子工業、積體電路半導體產業、微型精密機械產業、透鏡底片光學工業、生物科技產業、醫療器材、食品產業、製藥產業等皆適用。
下表為每立方公尺中粒子數對照表，為目前ISO 14644-1定義的潔淨度對照表。其中美國聯邦標準FS-209E雖已於2001年11月29日廢止相關規範，但國際間仍有許多公司仍沿用相關規範，故並列對照，以利參考使用。
潔淨度對照表
單位：每立方公尺的粒子數
Maximum concentration limits, particles/m³ of air
| ISO-14644-1 | Fed-Std209E | ≧0.1 µm | ≧0.2 µm | ≧0.3 µm | ≧0.5 µm | ≧1 µm | ≧5 µm |
| ISO 1 | 10 | 2 | |||||
| ISO 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
| ISO 3 | Class 1 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
| ISO 4 | Class 10 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | |
| ISO 5 | Class 100 |
100,000 |
23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 |
29 |
| ISO 6 | Class 1,000 |
1,000,000 |
237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 |
293 |
| ISO 7 | Class 10,000 |
|
352,000 | 83,200 |
2,930 |
||
| ISO 8 | Class 100,000 |
|
3,520,000 | 832,000 |
29,300 |
||
| ISO 9 | Class 1,000,000 |
|
35,200,000 | 8,320,000 |
293,000 |